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GaAlAs半导体功率放大激光器耦合效率的研究

         

摘要

通过对波长808nm的GaAlAs/GaAs半导体功率放大激光器端面镀ZrO2减反射膜工艺过程,从理论和实验上分析了涂层特性,透射率由无膜时的69%和32.6%提高到镀膜后的90%和80%以上,提高器件的耦合效率、输出光功率和工作寿命.

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