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王建珍;
晋东南师专数学系,山西长治 046011;
误差限; 有效数字; 近似值;
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机译:EUV光刻中使用的镜子的干涉式质量检查系统,其中检查了有限的表面积是否存在非旋转对称误差,以便可以定位旋转对称母体误差
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