照明系统远心度仿真模型建立及分析

黄振芬; 王贵平

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远心度是衡量光学投影曝光光刻机照明系统性能的重要参数,依据光的衍射理论构建了远心度相关的光刻机投影物镜成像模型.通过matlab软件模拟分析了193 nm光刻机照明系统远心度对线条偏移量的影响.仿真结果显示:环形照明时照明系统远心度会造成孤立线条和周期线条发生偏移,远心度越大线条偏移量越大;远心度为10 mrad时,硅片面100 nm的离焦量会使孤立线条和周期线条分别偏移1.3 nm和2.61 nm,孤立线条偏移量大于周期线条偏移量.仿真结果验证了光刻物镜成像模型的正确性.

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来源
《长治学院学报》 |2021年第5期|15-20|共6页
作者
黄振芬; 王贵平;
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作者单位

长治学院电子信息与物理系山西长治 046011;

长治学院电子信息与物理系山西长治 046011;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类应用光学;
关键词
光刻; 环形照明; 远心度; 线条偏移;

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