用于聚合物介电材料的双硅氧烷链接的环化聚合物

邓昶; 刘和文

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用于聚合物介电材料的双硅氧烷链接的环化聚合物

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研究了含有硅氧烷基团的螺旋环化聚合物PbMA的介电性能，PbMA结构中含有类似PMMA的主链和四甲基双硅氧烷侧环．PbMA可以旋涂到n型高掺杂硅单晶片（n—Si）上形成高度均一的膜，用于介电测量，研究了其介电性质和I—V特性曲线．PbMA在10-10^5频率范围有远低于PMMA的介电常数（低于2．61，其热稳定性也优于PMMA．I-V数据表明金属／PbMA／n—Si组成了不同导通方向的结，导通方向依赖于沉积在PbMA膜上的Au或Al层．

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来源
《化学物理学报》 |2017年第5期|571-575|共6页
作者
邓昶; 刘和文;
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作者单位

中国科学技术大学高分子科学与工程系;

科学院软物质化学重点实验室;

合肥230026;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类数理科学和化学;
关键词
环化聚合物; 硅氧烷; 聚甲基丙烯酸甲酯; 介电层;

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