基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器

著录项

• 来源
  《中国电子科学研究院学报》 |2011年第3期|320-323|共4页
• 作者

  王伟; 栾剑; 史鑫; 陈信琦;

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• 作者单位

  中国电子科技集团公司第49研究所,哈尔滨,150001;

  中国电子科技集团公司第49研究所,哈尔滨,150001;

  中国电子科技集团公司第49研究所,哈尔滨,150001;

  中国电子科技集团公司第49研究所,哈尔滨,150001;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TP212;
• 关键词

  MEMS; 光学检测; 声传感器; 灵敏度;