基于集总参数建模的微型镊子推杆设计

成一诺; 邹明耀; 程文皓

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基于集总参数建模的微型镊子推杆设计

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摘要

在微操作领域,微结构中较大的粘附力使快速精确地发射微小物体成为一个长期的挑战.本文介绍一种用于微型镊子的推杆,利用推杆撞击微小的物体使其获得足够的动能去克服粘附力.文中对推杆的结构进行了设计,采用梳状静电驱动执行器控制推杆动作,利用集总参数建模建立了推杆运动的控制方程,借助MATLAB仿真方法分析了推杆运动运动位移与驱动电压的曲线,仿真结果与理论设计值有较高的一致性.利用本文的推杆结构,可以改善现有微型镊子的缺陷,为亚微米粒子的操作提供了有效的解决方案.文中采用的集总参数建模及仿真分析方法,可供梳齿静电驱动系统设计参考.

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来源
《中国电子科学研究院学报》 |2019年第4期|399-403|共5页
作者
成一诺; 邹明耀; 程文皓;
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作者单位

清华大学精密仪器系;

北京 100084;

夷陵中学;

宜昌443005;

夷陵中学;

宜昌443005;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH98;
关键词
集总参数建模; 微型推杆; 梳齿电极; 静电驱动; 微机电系统;

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