基片表面倾斜及衍射对激光会聚原子沉积条纹的影响

张宝武; 张超超; 刘若男; 王道档; 沈小燕; 余桂英

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基片表面倾斜及衍射对激光会聚原子沉积条纹的影响

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cqvip:目的:探究基片对激光会聚原子沉积的影响。方法:根据光学势阱中原子运动的轨迹方程,对会聚场的光学势阱、原子运动轨迹和沉积条纹等进行了仿真实验。结果:衍射式光学势阱使原子轨迹提前会聚,进而与倾斜角一起对沉积条纹的质量参数产生了影响。在正倾时,随着|x0|的增大,条纹半高宽增大,条纹峰值减小;在负倾斜时,随着|x0|的增大,条纹半高宽保持不变,条纹峰值增大;同时随着|x0|的增大,沉积条纹的峰值位置相对于波节的偏移量趋向单调增大。在非衍射条件下,偏移量增大4 nm;在衍射条件下,偏移量增大15 nm。结论:由于衍射的存在,不管基片表面正倾斜还是负倾斜,基片表面上方沿着z方向都会存在一个直边衍射式的光学势阱。

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来源
《中国计量大学学报》 |2019年第4期|P.457-462|共6页
作者
张宝武; 张超超; 刘若男; 王道档; 沈小燕; 余桂英;
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作者单位

中国计量大学计量测试工程学院浙江杭州310018;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类干涉与衍射;
关键词
计量; 激光会聚; 光学势能; 衍射; 倾斜度;

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