表面剂诱导外延中的形核生长及多重分形分析

王竹平; 王戴木

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表面剂诱导外延中的形核生长及多重分形分析

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运用动力学蒙特卡罗(KMC)方法研究了表面剂诱导外延中岛的早期形核和生长行为.我们的模型包括三个主要的原子过程:增原子在表面剂台面上扩散、增原子与它下面的表面剂原子之间的位置交换(seed exchange形核换位)、已交换到衬底的增原子与它上面的表面剂原子交换位置重新回到表面剂台面(reexchange再换位).模拟结果显示,在确定的沉积率下,形核密度N由于恢复交换随温度增加被激活而发生转变,对应的转变温度Tx将曲线N～T分成了两个不同的区域.在不同的温区,岛密度随沉积率的演变呈现不同的特性.多重分形谱用来定量表征不同生长条件下岛的分布.在转变温度T=Tx处,多重分形谱的宽度最小、顶值最高;随着温度的升高或降低,谱的宽度增大,顶值减小.

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来源
《电子显微学报》 |2006年第3期|221-225|共5页
作者
王竹平; 王戴木;
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作者单位

安徽大学物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039;

阜阳师范学院物理系,安徽,阜阳,236032;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;近似计算;
关键词
KMC模拟; 外延; 分形;

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