基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计

刘民杰; 刘云峰; 董景新; 赵常德

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基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计

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介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图.以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计.实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能.

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来源
《中国惯性技术学报》 |2010年第2期|236-239|共4页
作者
刘民杰; 刘云峰; 董景新; 赵常德;
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作者单位

清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类导航设备;
关键词
MEMS加速度计; 通用电容读取芯片; MS3110; 闭环系统;

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