色谱-质谱联用法测定三氟化氮中痕量六氟化硫

韦桂欢; 张洪彬; 原霞

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色谱-质谱联用法测定三氟化氮中痕量六氟化硫

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用选择离子监测(SIM)方式测定了高纯三氟化氮(NF3)气体中痕量六氟化硫(SF6).采用poraPLOT Q毛细管色谱柱ψ30 m×0.32 mm×5 μm,选择m/z127作为定量离子,同时考察了NF3工艺气物流对所选离子的测定干扰情况.在浓度为2.0～100 μL/L范围内,峰面积与浓度呈线性关系,线性相关系数r=0.999 6.最低检测限为0.2μL/L,平均加标回收率为92.70%～97.04%,日内测定结果的sr＜4.17%,日间测定结果的sr＜5.33%.

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来源
《质谱学报》 |2003年第2期|359-362|共4页
作者
韦桂欢; 张洪彬; 原霞;
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作者单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北,邯郸,056027;

中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北,邯郸,056027;

中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北,邯郸,056027;

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正文语种 chi
中图分类质谱分析;硫S;
关键词
质谱学; 痕量六氟化硫气相色谱/质谱测定; 选择离子监测; 三氟化氮(NF3);

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