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涡轮分子泵电源原理及维修方法探讨

         

摘要

本文简述BALZERS公司生产的涡轮分子泵电源的工作原理和工作过程,绘出了重要工作点的波形并给出了工作参数,根据作者的实践对电源的维修和改进提出了方案供探讨。

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