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非轴对称光学表面超精密加工若干关键技术

         

摘要

由于非轴对称光学表面形状复杂,精度要求高,采用前馈控制法对快速伺服刀架的位置进行了补偿;通过建立最小安装角数学模型,解决了单直线刃金刚石刀具切削非轴对称光学表面的干涉问题;提出了一种新的控制方法;查表-实时计算控制法,既节省了内存又缩短了计算时间。

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