高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析

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• 来源
  《探测与控制学报》 |2002年第4期|14-16,28|共4页
• 作者

  宋萍; 李科杰; 石庚辰; 卢四华;

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• 作者单位

  北京理工大学机电学院,北京,100081;

  北京理工大学机电学院,北京,100081;

  北京理工大学机电学院,北京,100081;

  北京理工大学机电学院,北京,100081;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 测试技术与设备;
• 关键词

  MEMS; 加速度传感器,结构分析;