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氧化锌基SnO_2－ZnO　UPF制备工艺对其微观结构的影响

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摘要

采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法，通过二次蒸镀，制备了以氧化锌为衬底的ＳｎＯ_２－ＺｎＯ复合型功能气敏薄膜。讨论制备工艺对该薄膜微观结构的影响，并提供了宏观性质和微观机理分析结果。

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来源
《华东理工大学学报：自然科学版》 |1996年第1期|114-117|共4页
作者
王声乐; 潘孝仁; 黄家桢; 沈明庚;
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作者单位

华东理工大学物理系;

华东理工大学分析测试中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
氧化锌; 氧化锡; 超微粒子; 晶相结构; 薄膜;

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