X射线定向仪衍射角度自动测量与采集系统研制

孙世君

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在传统X射线晶体定向仪的基础上,设计了一种可以通过自动寻峰技术,实现晶体衍射角度测量、采集、存储和导出的自动化测量系统。有效地解决了传统定向仪手动测量过程中的人为误差,并极大地提高了在晶片筛选中的一致性。试验及用户使用报告证明,使用该系统的X射线定向仪,测量误差可优于±10″,远低于传统定向仪的±30″允许误差。可广泛应用于单晶的晶片筛选及硅单晶的切割定向。

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来源
《辽东学院学报：自然科学版》 |2014年第3期|185-188|共4页
作者
孙世君;
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作者单位

辽东学院机电学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理光学仪器;
关键词
X射线; 衍射; 晶体; V/F变换; 自动寻峰; PLC; 触摸屏;

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