同轴配对电子回旋共振放电产生的等离子体磁场约束的影响

陈庚顺; 吕奕; 佟瑞宏

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同轴配对电子回旋共振放电产生的等离子体磁场约束的影响

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运用朗缪尔探针诊断技术对同轴配对电子回旋共振产生等离子体磁场约束的影响进行了研究。在磁镜约束条件下,电子回旋共振源轴线附近等离子体的密度非常高,但是随着径向距离的增加等离子体的密度会迅速下降;而在会切磁场约束条件下,离子体的密度相对较低却分布均匀。这种趋势与电子温度和等离子体电势的情形类似,并且这种特性可应用于各种材料加工以满足不同的需求。

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来源
《辽东学院学报：自然科学版》 |2013年第4期|253-256|共4页
作者
陈庚顺; 吕奕; 佟瑞宏;
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作者单位

辽东学院机电学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O532.11;
关键词
电子回旋共振(ECR); 等离子体; 磁约束; 会切磁场约束;

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