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陈鸿;
福建农业大学机电工程系;
福州;
350002;
微机控制; 抗干扰; 恢复;
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机译:用于控制微机械致动器的控制器,特别是微机电系统,控制系统,微机电系统以及用于控制微机械致动器的方法
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