纳米氧化锌掺铝薄膜的微观结构研究

王明光; 杨慧; 汪嘉恒; 宁策; 徐奕辰; 祁阳

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纳米氧化锌掺铝薄膜的微观结构研究

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采用溶胶-凝胶(sol-gel)法在玻璃衬底上制备了纳米ZnO掺铝薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了系统的研究.结果表明,所有在玻璃衬底上生长的ZnO薄膜均具有c轴择优取向.掺杂量为2％(原子分数)时,Al在ZnO薄膜中达到最高水平.过量Al掺杂明显减弱薄膜的c轴择优取向.随着Al掺杂量的增加,ZnO晶粒进一步细化.其原因是未进入ZnO晶格的Al以非晶Al2O3的形式在ZnO晶界上形成了对晶界运动的钉扎,从而阻碍了ZnO晶粒进一步长大.

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来源
《功能材料》 |2013年第8期|1124-1127|共4页
作者
王明光; 杨慧; 汪嘉恒; 宁策; 徐奕辰; 祁阳;
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作者单位

东北大学理学院,辽宁沈阳110004;

东北大学理学院,辽宁沈阳110004;

东北大学理学院,辽宁沈阳110004;

东北大学理学院,辽宁沈阳110004;

东北大学理学院,辽宁沈阳110004;

东北大学理学院,辽宁沈阳110004;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类观察、分析晶体结构的实验方法;
关键词
ZnO薄膜; 微观结构; 溶胶-凝胶; Al掺杂; 自组装机制;

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