插入NiCr合金层对SnO_(2)/Ag/SnO_(2)多层结构透明导电薄膜热稳定性的影响

郑思龙; 祝柏林; 易昌鸿; 王崇杰; 吴隽

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室温下通过磁控溅射技术制备了SnO_(2)/Ag/SnO_(2)(SAS)、SnO_(2)/Ag/NiCr/SnO_(2)(SANS)和SnO_(2)/NiCr/Ag/NiCr/SnO_(2)(SNANS)三类多层膜。采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、霍尔效应测量仪和紫外-可见分光光度计研究了大气和真空退火温度与薄膜结构、形貌和透明导电性能的关系。结果表明,随着退火温度升高,薄膜的结晶程度及透明导电性能先增强后下降,薄膜的粗糙度先下降后上升。插入NiCr合金层提高了薄膜的热稳定性,且在Ag层两侧插入厚的NiCr合金层时薄膜热稳定性最优。而薄膜在真空环境下比在大气环境下的热稳定性更优。450℃真空退火后,SNANS(1 nm NiCr)薄膜平均透光率(400~800 nm)为90.31%,电阻率为8.21×10^(-5)Ω·cm,品质因子为3.87×10^(-2)Ω^(-1)。

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来源
《功能材料》 |2022年第2期|2167-2173|共7页
作者
郑思龙; 祝柏林; 易昌鸿; 王崇杰; 吴隽;
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作者单位

武汉科技大学材料与冶金学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体性质;
关键词
氧化物/金属/氧化物多层膜; 透明导电性; 退火处理; 热稳定性; 品质因子;

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