为了研究In Al N材料的光学参数随温度的变化特性,采用变温椭圆偏振光谱(25～600℃)测量技术对In Al N合金材料在193～1 650 nm宽光谱范围内进行了表征。利用Tauc-Lorentz振子模型描述和拟合变温椭偏光谱测量数据,得到了In Al N薄膜的光学常数(n、k和α)随温度的变化曲线。由变化曲线可见,在温度50～600℃,光学带隙从4. 56 e V减小到4. 35 e V,折射率峰值对应的能量则从4. 61 e V减小到4. 37 e V。两者都随温度升高而减小,其变化规律符合Varshni方程的预期。结果表明,在600℃以下测试温度条件下,In Al N合金材料的光谱和光学参数没有发生突变,说明In Al N合金材料具有高的热稳定性,并未发生影响材料光学性能的晶体结构变化。
展开▼
