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化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜的主要制备方法及应用

         

摘要

介绍了化学气相沉积金刚石薄膜的主要制备方法:热灯丝法、微波法、等离子体喷射法、火焰燃烧法。 C V D 金刚石膜的应用。

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