利用金刚石纳米粉引晶方法制备高硼掺杂金刚石薄膜

杨传径; 陈庆东; 杜凯; 高春晓; 刘才龙

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利用金刚石纳米粉引晶方法在SiO2衬底上合成了高硼掺杂金刚石薄膜,并利用范德堡法、扫描电镜、激光拉曼方法对不同掺杂量下生长的样品进行了表征.SEM和拉曼谱分析表明,少量掺杂时有利于提高金刚石薄膜的质量,但是随着掺杂量的增加,金刚石薄膜质量开始明显下降;并且拉曼谱峰在500 cm-1和1200 cm-1开始加强,呈现重掺杂金刚石薄膜的典型特征.其电导率随着温度升高而升高,表明导电性质为半导体导电.

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来源
《河南科技大学学报（自然科学版）》 |2009年第3期|15-1722|共4页
作者
杨传径; 陈庆东; 杜凯; 高春晓; 刘才龙;
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作者单位

河南科技大学,理学院,河南,洛阳,471003;

河南科技大学,理学院,河南,洛阳,471003;

河南科技大学,理学院,河南,洛阳,471003;

吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130012;

吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130012;

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正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
热丝; CVD; 纳米引晶; 掺杂金刚石薄膜;

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