氧氩比对ZnO薄膜微观结构及光电特性的影响

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• 来源
  《河南科技大学学报（自然科学版）》 |2019年第6期|80-8388|共5页
• 作者

  张猛; 付宏远; 孙艳艳; 赵洋; 王辉;

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• 作者单位

  河南科技大学物理工程学院;

  河南 洛阳 471023;

  河南科技大学河南省光电储能材料与应用重点实验室;

  河南 洛阳 471023;

  河南科技大学物理工程学院;

  河南 洛阳 471023;

  河南科技大学河南省光电储能材料与应用重点实验室;

  河南 洛阳 471023;

  河南科技大学物理工程学院;

  河南 洛阳 471023;

  河南科技大学河南省光电储能材料与应用重点实验室;

  河南 洛阳 471023;

  河南科技大学物理工程学院;

  河南 洛阳 471023;

  河南科技大学河南省光电储能材料与应用重点实验室;

  河南 洛阳 471023;

  河南科技大学物理工程学院;

  河南 洛阳 471023;

  河南科技大学河南省光电储能材料与应用重点实验室;

  河南 洛阳 471023;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜技术;
• 关键词

  ZnO; 磁控溅射; 氧氩比; 光电学特性; 薄膜结构;