外加应力对外延Pb(Zr1-xTix)O3薄膜相图及物理性质的影响

吕业刚; 刘宏贵

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用非线性热力学方法,研究了外加应力及组分对外延单畴Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜的相图及物理性质的影响.通过数值计算,得到了PZT薄膜在不同组分下的"外加应力-失配应变"相图.由相图可知,外加应力可以使薄膜发生铁电相变.在室温下,外加压应力能使薄膜的铁电相转变到顺电相.薄膜的压电系数对相变非常的敏感,施加一个适当的外加应力,可以大幅度提高压电系数.本文的计算结果,可以解释压痕仪和扫描力电镜研究铁电薄膜时所观察到的实验现象.

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来源
《湖南科技学院学报》 |2009年第4期|38-41|共4页
作者
吕业刚; 刘宏贵;
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作者单位

湖南科技学院,物理与电子工程系,湖南,永州425100;

衡阳县第五中学,湖南,衡阳421236;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
铁电薄膜; PZT; 外加应力; 失配应变; 相变;

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