不同厚度二维VN插入层对TiSiN纳米复合膜微观结构和力学性能的影响

薛增辉; 李伟; 刘平; 马凤仓; 刘新宽; 陈小红; 何代华

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不同厚度二维VN插入层对TiSiN纳米复合膜微观结构和力学性能的影响

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采用TiSi复合靶与V靶,用射频磁控溅射工艺在TiSiN纳米复合膜中插入不同厚度的VN纳米层,采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究了VN插入层厚度对TiSiN纳米复合膜的微观结构和力学性能的影响.结果表明:当TiSiN纳米复合膜中插入VN纳米层厚度较小时,薄膜由纳米复合结构转变成纳米多层结构,薄膜硬度降低.继续增加VN层厚度,薄膜硬度随之升高,在VN沉积层厚为0.5 nm时薄膜出现连续贯穿多层纳米层、结晶度良好的柱状晶,TiSiN层与VN层呈共格外延生长的结构,薄膜硬度达到37.2 GPa.随着VN层厚的继续增加,薄膜的共格外延生长结构消失,硬度下降.

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来源
《无机材料学报》 |2014年第10期|1082-1086|共5页
作者
薛增辉; 李伟; 刘平; 马凤仓; 刘新宽; 陈小红; 何代华;
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作者单位

上海理工大学机械工程学院,上海200093;

上海理工大学材料科学与工程学院,上海200093;

上海理工大学材料科学与工程学院,上海200093;

上海理工大学材料科学与工程学院,上海200093;

上海理工大学材料科学与工程学院,上海200093;

上海理工大学材料科学与工程学院,上海200093;

上海理工大学材料科学与工程学院,上海200093;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类腐蚀的控制与防护;
关键词
TiSiN纳米复合膜; VN插入层; 微观结构; 力学性能;

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