连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究

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• 来源
  《无机材料学报》 |2009年第1期|8-12|共5页
• 作者

  诸葛福伟; 高相东; 李效民; 甘小燕;

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• 作者单位

  中国科学院,上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050;

  中国科学院,研究生院,北京,100049;

  中国科学院,上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050;

  中国科学院,上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050;

  中国科学院,上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050;

  中国科学院,研究生院,北京,100049;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 半导体性质;
• 关键词

  CuSCN; 连续式离子层吸附与反应; 微观结构; 光学性能;