TiO2／SiO2复合薄膜的晶化特征和结构转变研究

翟继卫; 张良莹

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TiO2／SiO2复合薄膜的晶化特征和结构转变研究

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对ＴｉＯ２／ＳｉＯ２复合薄膜的晶化特征进行了分析，研究表明，随着ＴｉＯ２含量的增加，其晶化温度降低，而由锐钛矿相完全转变为金红石相的速度减慢，ＳｉＯ２的析晶温度也随着ＴｉＯ２含量的增加而降低，即ＴｉＯ２具有诱导ＳｉＯ２析晶的作用，锐钛矿晶粒尺寸的增加幅度随着ＴｉＯ２含量的降低和热处理温度的升高而增大，其晶粒尺寸的大小与热处理时间的平方根成正比。认为由于ＴｉＯ２含量的不同，造成薄膜中由锐钛矿相完全转

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来源
《无机材料学报》 |1998年第3期|363-367|共5页
作者
翟继卫; 张良莹;
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作者单位

西安交通大学电子材料研究所;

西安交通大学电子材料研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
复合薄膜; 晶化; 相转变; 结构; 二氧化硅; 二氧化钛;

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