六甲基二硅胺烷（HMDS）为原料CVD制备硅基纳米粉体的研究

江东亮; 陆忠乾

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以六甲基二硅胺烷作原料，用ＣＶＤ法合成的纳米粉体，在１０００－１５００℃温度范围内合成的均属无定形，１０００℃合成的纳米颗粒呈圆球形，粒径８－１０ｎｍ，少量２５－３０ｎｍ，在１４００℃高温下合成的颗粒较均匀，为８－１０ｎｍ的圆球形，经高温晶化处理后，低温时合成的粉末呈晶须状，ＳｉＣ和Ｓ相共存，以ＳｉＣ相为主，较高温度下合成的粉体颗粒长大成２０－４０ｎｍ，以β－ＳｉＣ相为主伴有α－ＳｉＣ相，颗粒外表

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来源
《无机材料学报》 |1997年第3期|356-362|共7页
作者
江东亮; 陆忠乾;
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作者单位

中国科学院上海硅酸盐研究所;

中国科学院上海硅酸盐研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类硅及其无机化合物;
关键词
晶化; 甲基二硅胺烷; 纳米粉体; 气相沉积; 硅;

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