利用范德堡法在金刚石对顶砧中精确测量样品电阻率

吴宝嘉; 韩永昊

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利用有限元分析方法(FEA)对金刚石对顶砧(DAC)中范德堡法测量极微小样品电阻率的误差进行数值模拟与分析, 结果表明, 对于极微小样品, 电极与样品的接触面积是影响电阻率精确测量的重要因素, 测量误差随接触面积的增大而增大, 对半导体材料尤其明显. 当样品厚度与直径的比值小于0.45, 且电极和样品的接触面边长与样品直径的比值小于0.1时, 测量电极是否满足点接触条件, 范德堡法均能给出精确的测量结果.

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来源
《吉林大学学报（理学版）》 |2008年第5期|956-958|共3页
作者
吴宝嘉; 韩永昊;
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作者单位

吉林大学,超硬材料国家重点实验室,长春,130012;

延边大学,理学院物理系,吉林,延吉,133002;

吉林大学,超硬材料国家重点实验室,长春,130012;

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正文语种 chi
中图分类 O521.21;
关键词
高压; 金刚石对顶砧; 范德堡; 电阻率; 有限元分析;

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