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硅片V型槽光纤-波导耦合器

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本文从硅晶体的结构说明V型槽形成的机理,该槽具有结晶学的平直、光滑、定位可控制在光刻精度的优点,经合理的方法较成功地实现了V型槽的制备,为光纤-波导的耦合提供较理想、稳定、低耗的器件。

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来源
《吉林大学学报：工学版》 |1991年第2期|31-34|共4页
作者
杨文英; 潘雪飞;
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作者单位

长春邮电学院;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
V型; 耦合器;

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