化学气相沉积法制备ZnS块材料的相结构

憨勇; 吴慧卓

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化学气相沉积法制备ZnS块材料的相结构

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用化学气相沉积法制备了红外晶体ZnS块材料;分别用XRD和TEM分析了所沉积ZnS的相结构,并用IR测试了其红外透过率.结果表明:在沉积温度为550～700℃,H2S/Zn摩尔流量比为0.5～20的条件下所沉积ZnS的相结构主要为闪锌矿结构;随着沉积温度的升高和H2S/Zn摩尔流量比的增大,ZnS中有纤锌矿结构出现且其含量增多,导致了ZnS红外透过率的降低.

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来源
《材料工程》 |1999年第2期|6-8|共3页
作者
憨勇; 吴慧卓;
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作者单位

西安交通大学;

西安交通大学;

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正文语种 chi
中图分类工程材料学;
关键词
化学气相沉积; ZnS块材料; 相结构;

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