EB-PVD工艺制备SiC/ZrO_2涂层的微观组织结构研究

赵轶杰; 马李; 赫晓东

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EB-PVD工艺制备SiC/ZrO_2涂层的微观组织结构研究

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本文利用EB-PVD工艺在高温合金表面制备SiC/ZrO2防热涂层,对制备态和不同温度晶化处理后的涂层进行了微观组织结构分析。结果表明,随退火温度升高,SiC结晶程度提高,Ramam光谱出现了SiC的TO带和LO带;SiC层中分散的sp2杂化碳团簇产生了急剧的聚集,形成了大的团簇结构。退火处理后SiC表层发生钝性氧化,涂层表面C元素含量大幅度减少,而O元素含量迅速增加;XPSC1s和Si2p谱峰的中心向高结合能方向发生了偏移;表层中C-C键的含量减少,Si-O键的含量逐渐增加。

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来源
《材料工程》 |2009年第s2期|4-8|共6页
作者
赵轶杰; 马李; 赫晓东;
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作者单位

哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所;

台州学院物理与电子工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属表面防护技术;
关键词
防热涂层; 电子束物理气相沉积; 微观组织结构; 碳化硅;

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