大量程MEMS加速度计在高温环境下的多元相依可靠性评估（英文）

秦丽; 何程; 于丽霞; 王威; 秦立君

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大量程MEMS加速度计在高温环境下的多元相依可靠性评估（英文）

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以往在进行微电子机械系统(micro-electro-mechanical system, MEMS)加速度计的可靠性评估时,通常只考虑一种性能参数,导致所得到的可靠性评估结果比较片面。针对大量程MEMS加速度计在高温环境下的失效情况,设计了相应的加速退化试验,根据零偏和标度因数两种性能参数的退化情况对大量程MEMS加速度计进行了多元相依可靠性评估。结果表明,对大量程MEMS加速度计进行多元相依可靠性评估可以提高评估精度,得到更为准确的结果。

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来源
《测试科学与仪器：英文版》 |2019年第1期|9-15|共7页
作者
秦丽; 何程; 于丽霞; 王威; 秦立君;
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作者单位

中北大学仪器与电子学院;

中北大学信息与通信工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH824.4;
关键词
大量程MEMS加速度计; 零偏; 标度因数; 多元相依可靠性评估; 加速退化试验;

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