用于微振动测量的微型迈克尔逊干涉仪的构建

机译：用于低频微振动测量的3轴微振动检测器Model 2205

机译：一种新方法，用于开发弯曲铰接位移放大器，为巨型磁致伸缩微型驱动系统进行微振动抑制

机译：在玻璃基板上的晶片级微型迈克尔逊干涉仪，用于光学相干层析成像应用

机译：使用独立式房屋的微振动测量数据通过反分析构建考虑非结构墙的层刚度估算模型

机译：用于测量热层风的偏振迈克尔逊干涉仪。

机译：用于精确原位磨损测量的微型Tribotester的设计和构建

机译：具有震颤的电动力传感微型钳，用于更容易膜剥离的震颤和控制的微振动

机译：应用于芯片制造设备的微振动评估测量能力的发展

机译：迈克尔逊干涉仪用于测量路径和角度，具有测量显微镜来确定测量信号的距离，这是由于测量信号与非透明膜片开口的距离具有平行性

机译：微型机械静电定位装置，例如用于镜子，在迈克尔逊干涉仪中-具有多个固定电极，产生静电场，施加力以改变板状元件的位置

机译：用于测量眼轴长度的迈克尔逊干涉仪及其测量方法