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类金刚石碳膜的微结构与光学特性

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摘要

利用付里叶变换红外(FTIR)光谱仪和X射线激发的CKLL俄歇电子谱的一次微分表征了类金刚石(DLC)膜的微结构。指出在高离子轰击能量和低CH_4压强下,射频等离子体沉积所制得的DLC膜具有好的热稳定性,膜内主要以sp^3 C-C键为主,折射率(红外)、光学带隙几乎为常数。

著录项

来源
《南京理工大学学报：自然科学版》 |1992年第5期|30-35|共6页
作者
杨伟毅; 龚文宪;
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作者单位

华东工程学院光电技术系;

无锡市教育学院;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
表面分析; 类金刚石碳膜; 微结构;

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