基于大数据分析的半导体工艺的良率提升研究

著录项

• 来源
  《南通大学学报（自然科学版）》 |2016年第4期|17-2137|共6页
• 作者

  陆健; 杨冬琴; 黄倩露; 王强; 赵苏华;

  展开▼
• 作者单位

  北京大学软件与微电子学院,江苏无锡214125;

  江苏东鋆光伏科技有限公司,江苏江阴214421;

  南通大学电子信息学院,江苏南通226019;

  南通大学电子信息学院,江苏南通226019;

  南通大学工程训练中心,江苏南通226019;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 测量和检验;
• 关键词

  大数据; 半导体工艺; 良率; 系统性问题; 晶圆;