粉末冶金高纯铬和铬合金溅射靶材烧结工艺研究

张青来; 贺继弘

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介绍了不同加工方式对铬靶烧结密度的影响.在机压过程中,采用双向压制,不添任何成型剂和脱氧剂.机压+真空烧结铬环靶材密度为78%～80%;冷等静压+真空烧结铬板靶材密度大于82%;而经轧制后,铬板靶材密度提高到90%～95%;铬合金靶材采用热压方式,其密度大于98%.通过优化烧结时间和烧结温度等工艺参数,铬环靶材的烧结成本大大降低.

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来源
《精密成形工程》 |2003年第6期|83-85|共3页
作者
张青来; 贺继弘;
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作者单位

上海交通大学,材料科学与工程学院,上海,200030;

上海钢铁研究所,上海,200940;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类粉末的制造方法;
关键词
铬; 铬合金; 粉末冶金; 溅射; 靶材;

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