低能粒子束技术中尺寸效应的分子动力学研究

魏也; 周兵; 桑胜波; 邓宵; 柴晶; 李廷鱼; 李刚; 陈泽华; 张文栋

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采用分子动力学方法复现了铜团簇粒子束注入硅基底的动力学过程.基于平衡态的统计热力学理论,建立了单一粒子注入过程的数值模拟模型,系统研究了影响注入过程的相关参数,详细对比和讨论了粒子尺寸(数量)、初始注入能量和角度的影响.同时,使用可视化方法记录分析了界面处纳观相变过程,给出了注入率与各参数的线性函数关系,揭示了低注入能量域内的新特征和内在机理.所得模拟结果和相关数据为纳米尺度的功能器件设计、加工和性能分析提供了有效参考和理论依据.

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来源
《中北大学学报：自然科学版》 |2017年第6期|616-622|共7页
作者
魏也; 周兵; 桑胜波; 邓宵; 柴晶; 李廷鱼; 李刚; 陈泽华; 张文栋;
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作者单位

太原理工大学信息工程学院;

太原理工大学表面工程研究所;

太原理工大学物理与光电工程学院;

太原理工大学大数据学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O411.8;
关键词
粒子束技术; 统计热力学; 分子动力学; 尺寸效应;

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