硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟

李伟剑; 苑伟政; 马炳和; 乔大勇

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硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟

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硅微陀螺是一个涉及力、电和流体等多个能量域的复杂系统,设计过程中综合考虑这些能量域的耦合作用有利于预测和改善陀螺的系统性能.本文采用半解析的方法分析了陀螺中的静电-结构耦合问题,引入机电转换单元模拟了偏置电压对驱动模态和敏感模态频率的影响.结果表明基于半解析的耦合分析方法能准确快速地求解微陀螺的静电-结构耦合问题.

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来源
《西北工业大学学报》 |2003年第6期|753-756|共4页
作者
李伟剑; 苑伟政; 马炳和; 乔大勇;
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作者单位

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类结构;设计、计算与制图;
关键词
硅微陀螺; 耦合分析; 静电-结构耦合;

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