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二氧化钒薄膜表面起泡的起因和防止

         

摘要

对新型的二氧化钒薄膜制备技术即无机溶胶-凝胶法,在制膜过程中其膜面容易起泡这个问题进行了研究,发现制备过程中脱水和晶化过程是起泡的主因。经采用300℃以上的慢速升温烘干处理工艺,避免了在后序真空处理过程中发生脱水和晶化过程,解决了二氧化钒薄膜表面起泡的难题,获得了表面状态很好的二氧化钒薄膜。

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