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有明显金刚石结构特征的类金刚石薄膜的制备方法

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摘要

通过分析比较低压化学气相合成金刚石薄膜的大量试验方法及规律，认为非平衡条件下金刚石微晶形核篚具备三个宏观条件：１）馈入足够高的能量；２）衬底表面应形成大的能量梯度；３）气氛中应含超平衡浓度的刻蚀剂，以有效的抑制非金刚石碳相的生长。

著录项

来源
《西北工业大学学报》 |1995年第2期|195-199|共5页
作者
张贵锋; 刘正堂;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
类金刚石薄膜; 金刚石微晶; 金刚石结构;

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