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直流辉光放电法淀积DLC膜的性能和结构研究

         

摘要

本文在改装的GDM-300BN型高真空镀膜机上,应用流辉光放电淀积法,成功地制备出性能良好的DLC膜,研究了DLC膜的显微硬度、耐磨性随着强度、磨擦系数等性能指标,用透射电镜和激光喇曼光谱对DLC膜的结构进行了分析。

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