有源光缆的硅基90°转向芯片设计与制备

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• 来源
  《兵器装备工程学报》 |2021年第8期|P.175-179|共5页
• 作者

  刘代军; 郭云芝; 穆学桢; 闫海涛; 谢占武; 张义飞;

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• 作者单位

  中国空空导弹研究院 河南洛阳471009红外探测器技术航空科技重点实验室 河南洛阳471009;

  中国空空导弹研究院 河南洛阳471009;

  中国空空导弹研究院 河南洛阳471009;

  濮阳光电产业技术研究院 河南濮阳457100;

  濮阳光电产业技术研究院 河南濮阳457100;

  中国空空导弹研究院 河南洛阳471009;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TJ462;
• 关键词

  转向芯片; 各向异性晶体蚀刻仿真; 湿法刻蚀; V型槽; 高反膜; 耦合效率;