基于阳极键合干法刻蚀技术的MEMS隧道加速度计的加工及测试(英文)

董海峰; 郝一龙; 贾玉斌; 闫桂珍; 王颖; 李婷

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基于阳极键合干法刻蚀技术的MEMS隧道加速度计的加工及测试(英文)

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提出了一种基于北京大学硅玻璃键合深刻蚀释放工艺的扩展工艺 ,用来加工微型隧道加速度计 .采用HP4 14 5 B半导体分析仪在大气环境下对所加工的器件进行了开环测试 ,验证了隧道电流的存在以及隧道间隙与隧道电流之间的指数关系 .实验结果外推出的隧道势垒的范围为 1.182～ 2 .177e V.大部分器件的开启电压在 14～16 V之间 .在 - 1,0和 +1g三种状态下对开启电压分别进行了测试 ,得到加速度计的灵敏度约为 87m V/g.

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来源
《半导体学报》 |2004年第12期|1606-1611|共6页
作者
董海峰; 郝一龙; 贾玉斌; 闫桂珍; 王颖; 李婷;
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作者单位

北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
隧道效应; 加速度计; 微机电系统;

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