单悬臂梁结构的GaAs基MOEMS可调谐RCE光探测器(英文)

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• 来源
  《半导体学报》 |2005年第6期|1087-1093|共7页
• 作者

  周震; 韩勤; 杜云; 杨晓红; 吴荣汉; 黄永清; 任晓敏;

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• 作者单位

  北京邮电大学电信工程学院光通信中心;

  中国科学院半导体研究所集成光电子学联合国家重点实验室;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 半导体光电器件;
• 关键词

  GaAs; MOEMS; RCE; 光探测器; 调谐; 单悬臂梁;