纳米6H-SiC薄膜的等离子体化学气相沉积及其紫外发光

于威; 崔双魁; 路万兵; 王春生; 傅广生

首页> 中文期刊> 《半导体学报》 >纳米6H-SiC薄膜的等离子体化学气相沉积及其紫外发光

纳米6H-SiC薄膜的等离子体化学气相沉积及其紫外发光

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用螺旋波等离子体化学气相沉积技术在Si(100)衬底上制备了具有纳米结构的碳化硅(SiC)薄膜.通过X射线衍射、傅里叶红外吸收和扫描电子显微镜等技术对所制备薄膜的结构、形貌以及键合特性进行了分析,利用光致发光技术研究了样品的发光特性.分析表明,在500℃的衬底温度和高氢气稀释条件下,所制备的纳米SiC薄膜红外吸收谱主要表现为SiCTO声子吸收,X射线衍射显示所制备的纳米SiC薄膜为6H结构.采用氙灯作为激发光源,不同氢气流量下所制备的样品在室温下呈现出峰值波长可变的紫外发光.

著录项

来源
《半导体学报》 |2006年第10期|1767-1770|共4页
作者
于威; 崔双魁; 路万兵; 王春生; 傅广生;
展开▼
作者单位

河北大学物理科学与技术学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.24;
关键词
纳米碳化硅; 化学气相沉积; 紫外发光;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 用等离子体增强化学汽相沉积方法制备纳米晶粒硅薄膜光致发光 [J] . 刘湘娜 ,吴晓薇 . 物理学报 . 1994,第006期
2. 热丝化学气相沉积(HFCVD)制备纳米晶态SiC紫外发光特性研究 [J] . 王辉 ,武超 ,汤正新 . 中原工学院学报 . 2007,第004期
3. 等离子体化学气相沉积法制备致密性超浸润纳米硅氟薄膜 [J] . 吕伟桃 ,毛静静 ,梁宸 . 有机硅材料 . 2022,第1期
4. 微波等离子体化学气相沉积方法制备纳米金刚石薄膜 [J] . 林晨 ,李义锋 ,张锦文 . 功能材料 . 2021,第007期
5. 常压等离子体增强化学气相沉积纳米晶TiO2多孔薄膜的研究 [J] . 李岩 ,徐绍魁 ,徐金洲 . 东华大学学报（自然科学版） . 2009,第001期
6. 热丝化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积制备硅薄膜生长机制的比较研究 [C] . 周玉琴 ,周炳卿 ,谷锦华 . 第九届中国太阳能光伏会议 . 2006
7. 氮化硼薄膜的热丝辅助等离子体增强化学气相沉积法制备及其紫外光敏性能研究 [A] . 祁英昆 . 2003

纳米6H-SiC薄膜的等离子体化学气相沉积及其紫外发光

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅