太赫兹Si/SiGe量子级联激光器波导模拟(英文)

陈锐; 林桂江; 陈松岩; 李成; 赖虹凯; 余金中

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波导层结构设计是制备太赫兹(THz)量子级联激光器的关键问题之一.本文基于德鲁得( Drude)模型,利用时域有限差分(FDTD)法,对Si/Si Ge量子级联激光器的波导层进行优化设计,从理论上对传统的递变折射率波导、单面金属波导、双面金属波导以及金属/金属硅化物波导横磁模(TM模)的模式损耗和光场限制因子进行了对比分析.结果表明,金属/金属硅化物波导不但可以减小波导损耗,而且有很高的光学限制因子,同时其工艺也比双面金属波导容易实现,为Si/Si Ge太赫兹量子级联激光器波导层的设计提供了一定的理论指导.

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来源
《半导体学报》 |2008年第5期|893-897|共5页
作者
陈锐; 林桂江; 陈松岩; 李成; 赖虹凯; 余金中;
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作者单位

厦门大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类波导光学与集成光学;
关键词
太赫兹; Si/SiGe; 量子级联激光器; 波导;

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