一种基于非平衡态格林函数的准三维FinFET模型

邵雪; 余志平

首页> 中文期刊> 《半导体学报》 >一种基于非平衡态格林函数的准三维FinFET模型

一种基于非平衡态格林函数的准三维FinFET模型

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

提出了一种针对FinFET器件的准三维量子力学模型.采用非平衡态格林函数方法计算器件中的弹道输运电流,同时在器件垂直于沟道方向的横截面上求解二维的薛定谔方程来得到载流子的态密度分布,最终实现与三维泊松方程的自恰求解.模拟结果显示纳米尺度的FinFET器件具有良好的开关特性和亚阈值特性.这个模型还能适用于量子线等其他三维结构的纳米器件.

著录项

来源
《半导体学报》 |2005年第6期|1191-1196|共6页
作者
邵雪; 余志平;
展开▼
作者单位

清华大学微电子学研究所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;非平衡态统计理论;
关键词
非平衡态; 准三维; FET模型; FinFET; 格林函数方法; 量子力学模型; 态密度分布; 薛定谔方程; 亚阈值特性; 弹道输运; 纳米器件; 三维结构; 开关特性; 纳米尺度; 模拟结果; 泊松方程; 载流子; 横截面; 量子线; 求解;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于格林函数的半导体桥三维非稳态传热模型 [J] . 孙远 ,张良 ,邓有杞 . 兵工学报 . 2020,第012期
2. 基于测地曲线约束函数映射的三维模型等距配准 [J] . 王辉 ,朱冰洁 ,李楠楠 . 计算机辅助设计与图形学学报 . 2021,第010期
3. 基于半解析法的FinFET三维电势和阈值电压模型 [J] . 韩名君 ,代广珍 ,倪天明 . 山东师范大学学报（自然科学版） . 2021,第004期
4. 基于流体模型和非平衡态电子能量分布函数的高功率微波气体击穿研究 [J] . 赵朋程 ,廖成 ,杨丹 . 物理学报 . 2013,第005期
5. 一种基于保角映射的考虑端部效应的准三维轴向磁通电机磁场解析模型 [J] . 佟文明 ,荆明 . 电机与控制学报 . 2021,第008期
6. 基于三维时域格林函数高阶面元法的船体运动计算 [C] . Zhou Wenjun ,周文俊 ,Zhu Renchuan . 纪念《船舶力学》创刊二十周年学术会议 . 2017
7. 一种基于谱分析的三维寻径启发式函数 [A] . 郑辉 . 2016

一种基于非平衡态格林函数的准三维FinFET模型

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅