GaAs MMIC用无源元件的模型

申华军; 陈延湖; 严北平; 杨威; 葛霁; 王显泰; 刘新宇; 吴德馨

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制作了不同结构参数的GaAsMMIC无源元件,包括矩形螺旋电感、MIM电容和薄膜电阻,建立了无源元件的等效电路模型库,采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数,便于电路设计的应用.并提取得到MIM电容的单位面积电容值,约为195pF/mm2,NiCr薄膜电阻的方块电阻约为16·1Ω/□.分析结构参数对螺旋电感性能的影响可知,减小线圈面积相关的寄生损耗有助于获得高品质的电感.

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来源
《半导体学报》 |2006年第10期|1872-1879|共8页
作者
申华军; 陈延湖; 严北平; 杨威; 葛霁; 王显泰; 刘新宇; 吴德馨;
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作者单位

中国科学院微电子研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类结构、器件;
关键词
MMIC; 矩形螺旋电感; MIM电容; 薄膜电阻; 多项式拟合公式;

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