基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜

著录项

• 来源
  《半导体学报》 |2004年第9期|1154-1158|共5页
• 作者

  余洪斌; 陈海清; 竺子民; 张大成; 李婷;

  展开▼
• 作者单位

  华中科技大学光电子工程系;

  北京大学微电子学研究所微米/纳米加工技术国家重点实验室;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 集成光学器件;
• 关键词

  可变形反射镜; 体微加工; 静电驱动; 响应频率;